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當前位置:首頁產品中心光電探測系統顯微光電流LBIC-S1光電流 IV/IT/ 成像測試系統

LBIC-S1光電流 IV/IT/ 成像測試系統

產品簡介

微納光電成像測試系統是一種利用顯微成像手段,通過不同波長激光進行探測,分析表征光電子器件的短路電流分布,表面缺陷, 反射率等參數。并通過掃描獲得的圖像,分析各種參數的平面均勻性,為光電器件的結構優化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發樣品產生光電流,光電流信號通過探針引出至電流源表,再通過軟件讀出。

產品型號:
更新時間:2026-04-01
廠商性質:生產廠家
訪問量:595
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微納光電成像測試系統是一種利用顯微成像手段,通過不同波長激光進行探測,分析表征光電子器件的短路電流分布,表面缺陷, 反射率等參數。并通過掃描獲得的圖像,分析各種參數的平面均勻性,為光電器件的結構優化提供參考。激光通由顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發樣品產生光電流,光電流信號通過探針引出至電流源表,再通過軟件讀出。掃描時,通過電動位移臺的移動,激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動, 軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應的電流值,在軟件上同步描繪出光電流成像圖,顯示了樣品的電流分布。

技術參數

激光器(光源)標配532nm激光器,能量穩定性1%@4小時
顯微鏡模塊反射式/透射式LED照明

物鏡:標配(20X, WD=7.5mm) 超長工作距離 最大掃描范圍:260 x 200 μm (20x物鏡下) 位置重復性:小于1 μm

最小掃描步長:0.2μm  激光光斑:2μm

數據采集電流源表:Keithley 2450

測量范圍:1nA ? 1A 暗噪聲:50pA 分辨率:20fA

探針臺模塊直徑65mm真空吸附卡盤 探針座和樣品整體二維移動,樣品位置單獨二維移動,樣品位置移動行程25mm,分辨率5μm 探針座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm 探針:鎢針,直徑5μm,10μm,20μm可選
軟件光電流掃描(Mapping):可以設定固定的電壓,逐點獲取電流值

I-V曲線掃描(Mapping):可以設定指定的電壓區間,逐點獲取I-V曲線 指定區域掃描(Mapping)

光譜響應度測試(選配)光譜范圍200-1100nm,可以擴展到2500nm

光譜響應度曲線 量子效率曲線 偏壓設置功能

激光器(選項)波長:405nm或者635nm可選,其他波長咨詢銷售

能量穩定性:小于1%@2個小時 功率:10mW和30mW(可選)

測試案例:

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